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無色六方結(jié)晶。無臭無味。有吸潮性。相對密度2. 679。溶于乙醚等溶劑中，不溶于醇。在酸中的溶解度比在水中大。在堿液中分解，生成氟化物及二氧化硅。灼熱(300℃上)后，分解成氟化鈉和四氟化硅。有毒!

過磷酸鈣副產(chǎn)法：由磷礦粉和硫酸反應(yīng)生產(chǎn)過磷酸鈣或萃取磷酸時逸出的含氟廢氣，用水吸收四氟化硅使成氟硅酸。當(dāng)氟硅酸溶液的濃度達(dá)8%～10%時，靜止澄清，除去雜質(zhì)，澄清的氟硅酸
溶液中加入氯化鈉（過量約25%）反應(yīng)，生成氟硅酸鈉，經(jīng)離心分離、洗滌、300℃以下溫度下進(jìn)行氣流干燥，再經(jīng)粉碎，制得氟硅酸鈉成品。